Orateur
Description
L’objectif de l’étude est d’obtenir une information sur les paramètres électriques ainsi que sur les espèces réactives produites dans les plasmas à base de molécules organiques en fonction de la nature du précurseur et des paramètres de procédé tels que le débit du précurseur, la puissance d’excitation et la pression totale.
Les expériences sont réalisées dans un plasma à couplage inductif excité à 13,56 MHz. Le mélange de gaz est de type précurseur-H2-Ar, le débit total est fixé à 60 sccm. Les précurseurs étudiés sont le méthane, méthanol, nitrométhane et les mélanges CH4-N2O. Le plasma est analysé par sondes électrostatiques et spectroscopie d’émission optique avec Ar comme pseudo-actinomètre (OES).
Quel que soit le précurseur, la densité électronique et la température électronique (Te) demeurent constantes lors de la variation du débit de précurseur (2-32 sccm). Cependant, les plasmas de CH3NO2 présentent une valeur de Te (~3 eV) nettement supérieure à celle des autres mélanges (~2 eV). Cette différence sera commentée en relation avec l'énergie d'ionisation du précurseur et de ses probables fragments principaux. Les résultats majeurs donnés par l'OES concernent le débit de précurseur et la puissance d'excitation. Par exemple l’évolution de l’intensité des bandes CN (388,3 nm), CO (283,3 nm), NO (247,1 nm) et de la raie O (777,4 nm) en CH4-N2O montre que les espèces CHx sont consommées pour former CN et CO, et que ces derniers prévalent sur les premiers à haut débit de N2O.
| Choix de session parallèle | 2.2 Plasmas froids: Diagnostics, Procédés et Applications |
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